ЯФ ФТИАН им. К.А. Валиева РАН

2006 год

1. Кривелевич С.А., Маковийчук М.И., Селюков Р.В. Электронно-дырочная рекомбинация на ловушках, связанных с эрбий-кислородными комплексами в кремнии. Материалы Х Симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника». Институт физики микроструктур РАН. Н.Новгород. 2006. Т.2. С. 336.
2. Маковийчук М.И., Систер В.Г., Орликовский А.А., Чапкевич А.Л. Разработка полупроводникового газового сенсора на основе адсорбционно-десорбционной фликкер-шумовой спектроскопии для контроля стойких органических загрязнителей в окружающей среде. Труды XVI Международного совещания «Радиационная физика твердого тела». Севастополь. М.: ГНУ «НИИ ПМТ», 2006. С. 20.
3. Маковийчук М.И., Бучин Э.Ю. Физико-химические основы КНИ-фликкер-шумового газового сенсора. Тезисы докладов "III Российского совещания по росту кристаллов и пленок кремния и исследованию их физических свойств и структурного совершенства "Кремний - 2006". Красноярск: Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН. 2006. С. 38.
4. Маковийчук М.И. Шумовой газовый сенсор – матричная ячейка мультисенсорной системы “E-nose”. Материалы Всероссийской конференции «Физические и физико-химические основы ионной имплантации». Н.-Новгород: НИФТИ, 2006. С.95.
5. Makoviychuk M.I. A new electronic nose. Proceed. Third Int. Workshop “Relaxed, Nonlinear and Acoustic Optical Processes; Materials – Growth and Optical Properties” – RNAOPM-2006. Lutsk: Volyn University Press “Vezha”, 2006. P. 10.
6. Makoviychuk M.I., Chapkevich A.A. Low frequency current noise in silicon microsensors: a new perspective on individual defects and flicker noise. Proceed. Third Int. Workshop “Relaxed, Nonlinear and Acoustic Optical Processes; Materials - Growth and Optical Properties” – RNAOPM-2006. Lutsk: Volyn University Press “Vezha”, 2006. P. 42.
7. Зимин С.П., Горлачев Е.С., Богоявленская Е.А., Амиров И.И., Нестеров С.И., Бучин Э.Ю., Герке М.Н., Zogg H., Zimin D. Модификация поверхности пленок теллурида свинца при обработке в аргоновой плазме. IV Международная научно-техническая конференция “Материалы и технологии XXI века”, Пенза, 2006, сборник статей. С. 26-29.

2005 год

1. Кривелевич С.А., Бачурин В.И., Денисенко Ю.И., Бучин Э.Ю., Селюков Р.В. Ионный синтез скрытых изолирующих силикатных слоев. Труды 17 междун. конф. “Взаимодействие ионов с поверхностью”, ВИП-2005. Звенигород, Россия, 2005, том 2. С.175-178.
2. Makoviychuk M.I. Flicker noise processes in disordered silicon systems. Materials Second Int. Workshop “Relaxed, Nonlinear and Acoustic Optical Processes; Materials – Growth and Optical Properties”. RNAOPM-2005 Lutsk: Volyn University Press “Veza”. 2005. P. 55.
3. Кривелевич С.А., Лопаткин С.П., Маковийчук М.И., Селюков Р.В. Расчет сечения захвата электронов оптически активными центрами в кремнии, легированном редкоземельными элементами. Материалы ХI Междунар. н-т конференции «Высокие технологии в промышленности России». М.: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2005. С. 385.
4. Makoviychuk M.I., Chapkevich A.L., Parshin E.O. Low frequency current noise spectroscopy as a tool to study disordered materials. Proceed. Int. Conf. “Micro- and nanoelectronics 2005”. Zvenigorod, Russia. 2005. 03-15.
5. Makoviychuk M.I., Chapkevich A.L., Parshin E.O. Desorption flicker noise spectroscopy. Proceed. Int. Conf. “Micro- and nanoelectronics 2005”. Zvenigorod, Russia. 2005. P2-10.
6. Чапкевич А.Л., Маковийчук М.И. Применение метода низкочастотной спектроскопии токовых шумов для анализа состава газов, адсорбированных поверхностью кремния. Материалы Второго Московского научного форума. Книга II. Москва: МКНТ, 2005. С. 767.

2004 год

1. Зимин С.П., Богоявленская Е.А., Наумов В.В., Герке М.Н., Фаткулин Е.Р., Зимин Д.С., Бучин Э.Ю. Особенности структурных параметров эпитаксиальных пленок PbTe после анодирования. Международная научно- практическая конференция “Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения”, МИРЭА, Москва, 2004. С. 42-45.
2. Кривелевич С.А., Маковийчук М.И., Селюков Р.В. Расчет сечений возбуждения и девозбуждения излучающих нанокластеров в кремнии, легированном редкоземельными элементами. Материалы совещания “Нанофотоника” Нижний Новгород: ИФМ РАН. 2004. С. 282.
3. Маковийчук М.И., Паршин Е.О., Кривелевич С.А., Чапкевич А.Л. Спектроскопия токовых шумов как высокоэффективный диагностический инструмент дефектно-примесной инженерии в имплантированном кремнии. Тезисы докладов XVIII Международной конференции по фотоэлектронике и приборам ночного видения. Москва.: ФГУП “НПО “ОРИОН”. 2004. С. 173.
4. Makoviychuk M.I., Parshin E.O., Krivelevich S.A., Chapkevich A.L. Flicker Noise Spectroscopy as a Diagnostic Tool for Defect-Impurity Engineering in Implanted Silicon. Proceed. 3rd European Microelectronics & Packaging Symposium – EMPS 2004. Prague, Czech Republic. 2004. Р. 559.
5. Маковийчук М.И., Паршин Е.О., Кривелевич С.А., Чапкевич А.Л. Практическая реализация дефектно-примесной инженерии в микротехнологии. Труды XIV Международного совещания “Радиационная физика твердого тела” Севастополь. 2004. С. 523.
6. Кривелевич С.А., Маковийчук М.И., Селюков Р.В. Возбуждение и девозбуждение оптически активных нанокластеров в кремнии. Материалы II Украинской научной конференции по физике полупроводников УНКФ-2. Черновцы: Изд-во “Рута” 2004. Т.2. С. 196.
7. Makoviychuk M.I. Flicker Noise Spectroscopy and Desorption Flicker Noise Spectroscopy as Diagnostic Tools for Defect-Impurity Engineering in Implanted Silicon. Материалы II Украинской научной конференции по физике полупроводников УНКФ-2. Черновцы: Изд-во “Рута”. 2004. Т.2. С. 388.
8. Маковийчук М.И. Фликкер-шумовая спектроскопия – диагностический инструмент дефектно-примесной инженерии в микротехнологии. Материалы VII Всероссийского семинара “Физические и физико-химические основы ионной имплантации”. Нижний Новгород: ННГУ, 2004. С. 75.

2003 год

1. Makoviychuk M.I., Parshin E.O., Chapkevich A.L. Experimental studies of flicker noise in ion-implanted silicon structures. Proceed. 17th Int. Conf. on Noise and Fluctuations. Prague, Czech Republic. 2003. P. 295.
2. Makoviychuk M.I. Flicker noise spectroscopy of ion-implanted silicon structures: study of radiation defects. Материалы 16-ой Междунар. конф. “Взаимодействие ионов с поверхностью”. Звенигород, Россия. 2003. Т.2. С. 59.
3. Makoviychuk M.I., Parshin E.O., Chapkevich A.L. Low-frequency noise in disordered silicon systems. Proceed. Int. Conf. “Micro- and nanoelectronics”. ICMNE – 2003. Zvenigorod, Russia. 2003. P1 – 22.
4. Кривелевич С.А., Маковийчук М.И., Селюков Р.В. Сечения возбуждения и девозбуждения оптически активных центров в кремнии, легированном редкоземельными элементами. Тезисы докладов VI Российской конф. по физике полупроводников. Санкт-Петербург. 2003. С. 207.
5. Savinski N.G. Polymer LED. II International Seminar Visson RAMAT GAN, Israel 2003. P. 58.
6. Сапожникова Н.Г., Савинский Н.Г., Сибриков С.Г., Казин В.Н. Реакционная способность производных 1,1,1-трихлор-2,2-диарилэтана при взаимодействии с нитритом натрия в ДМФА. Материалы Всероссийской конференции, посвященной 200-летию Ярославского государственного университета им. П.Г. Демидова: Биология, экология, химия, безопасность жизнедеятельности. Ярославль: ЯрГУ, 2003. С. 135.
7. Machin M., Gitlin M., Savinskii N. Automatical Optimization of Pupil Filters for High-resolution Photolitography. International Conference “Micro- and nanoelectronics 2003”. ICMNE-2003. Zvenigorod, Russia. P1-7
8. Gitlin M., Savinski N., Truhanov K., Kachalov M., Savinskaya E. Design and manufacturing of passive-matrix for organic light-emitting micro display. International Conference “Micro- and nanoelectronics 2003”. ICMNE-2003. Zvenigorod, Russia. P2-77

2002 год

1. Кривелевич С.А., Маковийчук М.И., Денисенко Ю.И., Герасименко Н.Н. Ионный синтез силикатных стекол – новые возможности КНИ технологии. Тезисы докладов совещания по росту кристаллов, пленок и дефектам структуры кремния «Кремний – 2002» Новосибирск. 2002. С. 81.

2001 год

1. Gerasimenko N.N., Makoviychuk M.I. Flicker noise processes in ion-implanted silicon structures: study of radiation defects. Proceed. Int. Workshop on Modern Problems in the Physics of Surfaces and Nanostructures. – Yaroslavl, Russia. 2001. P. 28.
2. Krivelevich S.A., Makoviychuk M.I., Denisenko Yu.I., Parshin E.O., Gusev V.A. Synthesis of silicate glass layers. Proceed. Int. Workshop on Modern Problems in the Physics of Surfaces and Nanostructures. – Yaroslavl, Russia. 2001. P.57.
3. Кривелевич С.А., Маковийчук М.И., Денисенко Ю.И., Паршин Е.О., Гусев В.А. Ионный синтез скрытых силикатных слоев. Тезисы докладов Всероссийской научно-технич. конф. “ Микро- и наноэлектроника - 2001” Звенигород. 2001. Т.2. Р3-42. (С. 294).
4. Герасименко Н.Н., Маковийчук М.И., Паршин Е.О., Кривелевич С.А. Изготовление структур “кремний-на-изоляторе” методом высокоэнергетической ионной имплантации. Тезисы докладов Всероссийской научно-технич. конф. “ Микро- и наноэлектроника - 2001” Звенигород. 2001. Т.2. Р3-43. (С. 296).
5. Gerasimenko N.N., Makoviychuk M.I. Flicker-noise measurements of deep implanted silicon layers. Proceed. 3rd Int. Conf. “Nuclear and Radiation Physics”. Almaty, Kazakhstan. 2001. P. 187.
6. Сибриков С.Г., Гладеев М.В., Казин В.Н., Савинский Н.Г., Ваганова Е.И., Королева О.М.
7. Синтез производных о-нитробензиловых эфиров полупродуктов для фоторезистов с химическим усилением изображения. XIV Международная научно-практическая конференция «Химические реактивы, реагенты и процессы малотоннажной химии» «Реактив-2001» Уфа. 2001. С. 53.
8. Казин В.Н., Сибриков С.Г., Сапожникова Н.Г., Савинский Н.Г., Ваганова Е.И. Синтез светочувствительных компонентов на основе 1-нафталинон-2-диазида 4(5)-сульфонилхлоридов. XIV Международная научно-практическая конференция «Химические реактивы, реагенты и процессы малотоннажной химии» «Реактив-2001» Уфа. 2001. С. 55
9. Сибриков С.Г., Казин В.Н., Сапожникова Н.Г., Савинский Н.Г., Романов А.Н. Методы синтеза светочувствительных соединений для новых типов фоторезистов. Современные проблемы биологии, химии, экологии и экологического образования. Региональный сборник научных трудов, посвященный 30-летию факультета биологии и экологии ЯрГУ. Ярославль, 2001. С. 315.
10. Савинский Н.Г., Мячин М.Л., Гущин О.П., Просий А.Д., Горнев Е.С. Технология субмикронной оптической проекционной литографии с использованием фотошаблонов с фазовым сдвигом. Всероссийская научно-техническая конференция «Микро- и наноэлектроника 2001». Звенигород. 2001. Т. 1. Л2-5.
11. Мячин М.Л., Савинский Н.Г., Герасимов Д.Ю., Куприянюк М.И., Волченков С.Г., Короткин А.А. Программный комплекс фазовой оптической коррекции бинарных и альтернатных фотошаблонов. Всероссийская научно-техническая конференция «Микро- и наноэлектроника 2001». Звенигород. 2001. Т. 1. ОЗ-20.
12. Мячин М.Л., Куприянюк М.И., Волченков С.Г., Савинский Н.Г., Короткин А.А Представление иерархической топологической информации в задачах оптической коррекции фотошаблонов. Всероссийская научно-техническая конференция «Микро- и наноэлектроника 2001». Звенигород, 2001. Т. 2. РЗ-11.
13. Савинский Н.Г., Мячин М.Л., Гущин О.П., Просий А.Д., Горнев Е.С. Аподизация входного зрачка объектива низкотемпературных степперов для субмикронной оптической литографии. Всероссийская научно-техническая конференция «Микро- и наноэлектроника 2001». Звенигород. 2001. Т. 2. РЗ-12.

2000 год

1. Zimin S.P., Preobrazhensky M.N., Zimin D.S., Bibik E.A., Buchin Ed.Yu. Acoustic Microscopy Investigation of Porous Silicon with Surface Amorphous Film. 2-nd International Conference on "Porous Semiconductors– Science and Technology”, Madrid, Spain, 2000, Book of abstracts, P. 244-245.
2. Соболев Н.А., Емельянов А.М., Николаев Ю.А., Шек Е.И., Вдовин В.И., Маковийчук М.И., Паршин Е.О. Материаловедение кремния, легированного редкоземельными элементами. Тезисы докладов 2-й Всероссийской конференции по материаловедению и физико-химическим основам технологий получения легированных кристаллов кремния. Москва. 2000. С. 192.
3. Кривелевич С.А., Маковийчук М.И., Денисенко Ю.И., Паршин Е.О. Синтез силикатных стекол – одно из перспективных направлений развития технологии КНИ. Тезисы докладов V Всероссийского семинара «Физические и физико-химические основы ионной имплантации». Н.-Новгород. 2000. С. 27.
4. Маковийчук М.И. Десорбционная фликкер-шумовая спектроскопия ионно-имплантированного кремния. Тезисы докладов V Всероссийского семинара «Физические и физико-химические основы ионной имплантации». Н.-Новгород. 2000. С. 54.
5. Маковийчук М.И. Модель взрывного шума в ионно-имплантированных системах. Тезисы докладов V Всероссийского семинара «Физические и физико-химические основы ионной имплантации». Н.-Новгород. 2000. С. 85.
6. Савинский Н.Г., Лоханин М.В., Романов А.Н., Казин В.Н., Сибриков С.А., Яблонский О.П. Исследование литографических фоторезисторов с инверсией тона изображения субмикронного диапазона для микроэлектроники. VI Международная научно-техническая конференция «Высокие технологии в промышленности России». М.: ЦНИТИ «Техномаш». 2000. С. 7.