Основные направления исследований
Направление исследований Отделения нанотехнологий и информационных технологий РАН: "Физика и технология нанотранзисторов, наноструктур и элементной базы микросистемной техники"
Темы
Исследования в области технологии элементной базы, функциональных структур и материалов наноэлектроники и спинтроники:
- разработка технологии изготовления диэлектриков и широкозонных аморфных полупроводников с инкорпорированными кластерами материала с меньшей шириной запрещенной зоны;
- исследование эффекта переключения проводимости в диэлектриках содержащих кремниевые наноэлементы и создание устройств энергонезависимой памяти на основе этого эффекта;
- исследование процессов тепломассопереноса в кремниевых наноструктурах при быстрой термической обработке;
- исследование магнитных наноструктур для устройств обработки и хранения информации;
- исследование и разработка физико-технологических основ энергонезависимой электрически перепрограммируемой памяти на самоформирующихся проводящих наноструктурах.
Исследования в области технологии элементной базы, функциональных структур и материалов микроэлектроники, микросистемной техники, датчиков и преобразователей:
- исследование, разработка устройств микро-наносистемной техники и технологии их изготовления;
- разработка методик диагностики микро – и наноструктур;
- разработка технологий изготовления возобновляемых источников энергии.