Программы
Программа фундаментальных научных исследований в Российской Федерации на долгосрочный период (2021 - 2030 годы) (PDF)
Программы ОНИТ РАН
- Проект 1.6. Рук. И.И.Амиров
- «Развитие методов плазменного травления и осаждения материалов для создания различных элементов микромеханики»
- Проект 1.7 Рук. В.И.Рудаков.
- Исследование перспективных технологий изготовления элементов нанотранзистора и магнитных наноструктур
- Проект 1.8. Рук. В.М.Мордвинцев.
- Исследование и разработка физико-технологических основ энергонезависимой электрически перепрограммируемой памяти на самоформирующихся проводящих наноструктурах. Изготовление элементов памяти в виде открытых «сэндвич»-структур с диэлектриком изолирующей щели из диоксида кремния, полученного с помощью различных технологических процессов
- Проект 1.9. Рук.А.Е.Бердников
- Исследование эффекта переключения проводимости в диэлектриках содержащих кремниевые наноэлементы и создание устройств энергонезави-симой памяти на основе этого эффекта