Гранты
Гранты Президента Российской Федерации
- МЭМС-переключатель для перспективных систем связи и радиолокации (руководитель И.В. Уваров). Проект МК-945.2021.4.
Гранты РНФ
- Быстрый электрохимический микронасос для портативного модуля доставки лекарств (руководитель И.В. Уваров) Проект № 18-79-10038.
- Быстрый электрохимический микронасос для портативного модуля доставки лекарств (руководитель И.В. Уваров) Проект № 18-79-10038, продление на 2021-2023 гг.
- Сильный и быстрый микродвигатель на основе спонтанной реакции между водородом и кислородом в нанопузырьках (руководитель В.Б. Световой) 15-19-20003.
Гранты РФФИ
- Бистабильный МЭМС-переключатель электростатического типа с низким напряжением срабатывания (руководитель И. В. Уваров). Проект № 16-37-60065 мол_а_дк.
- Снижение напряжения срабатывания микропереключателя электростатического типа путем использования кантилевера со сверхвысоким отношением длины к толщине (руководитель И.В. Уваров). Проект № 14-07-31156 мол_а.
- Атомные механизмы релаксации упругих напряжений в гетероэпитаксиальных структурах (руководитель О.С. Трушин) Проект № 14-07-00139 А
- Наноэлектромеханические резонансные структуры и методы их формирования (рук.И.И.Амиров). Проект №10-07-00447
- Исследование явления бистабильности при радиационном теплообмене в системах на основе кремния (рук. В.И.Рудаков). Проект №11-07-00521