Обособленное подразделение "Отдел микротехнологий" - Ярославль

Семинар 30 апреля 2026 года

В четверг, 30 апреля 2026 года в 15.00 в 338 кабинете состоится очно-заочный семинар «Физика и технология микро- и наноэлектроники» (руководитель семинара д.ф.-м.н. О.С. Трушин)

Порядок подачи статей и тезисов для получения экспертного заключения

Программа семинара

1. Статья «Гибридный нано-микролезвийный кремниевый автоэмиссионный катод», В.К. Смирнов, Д.С. Кибалов, Г.Ф. Смирнова, А.С. Рудый, для опубликования в открытой печати в виде статьи на английском языке в журнале «Russian Microelectronics» издательства «Pleiades Publishing, Ltd.» (Британские Виргинские острова). Работа выполнена в рамках государственного задания НИЦ «Курчатовский институт» тема 3Ф-ФТИАН.3. Докладчик, Кибилов Дмитрий Станиславович, ОФТИ, Ярославль.
2. Статья «Самоформируемая нитридкремниевая наномаска на поверхности кремния с выраженной топографией и в условиях движения подложки». В.К. Смирнов, Д.С. Кибалов, Г.Ф. Смирнова, А.С. Рудый, для опубликования в открытой печати в виде статьи на английском языке в журнале «Russian Microelectronics» издательства «Pleiades Publishing, Ltd.» (Британские Виргинские острова). Работа выполнена в рамках государственного задания НИЦ «Курчатовский институт» тема 3Ф-ФТИАН.3. Докладчик, Кибилов Дмитрий Станиславович, ОФТИ, Ярославль.