Публикации сотрудников ОП "Отдел микротехнологий" - Ярославль ОФТИ им. К.А. Валиева Центра перспективной микроэлектроники за 2025 год

  1. Bachurin V.I., Kulikov A.N., Rudy A.S., Smirnova M.A. Model of terrace relief formation on the silicon surface sputtered by a focused Ga+ beam. Vacuum, Volume 241, 2025, 114671. DOI: 10.1016/j.vacuum.2025.114671, Белый список
    The work was carried out within the state assignment of NRC “Kurchatov Institute” Reg. N NIOKTR 122020200188-0.
  2. Овчаров В.В., Куреня А.Л., Пригара В.П. Динамики переключения кремниевой пластины из низкотемпературного в высокотемпературное состояние при бистабильном режиме радиационного теплообмена с элементами лампового реактора. Прикладная физика, 2025, № 4, с. 113-118. DOI: 10.51368/1996-0948-2025-4-113-118, Белый список
    Работа выполнена в рамках Государственного задания Физико-технологическому институту им. К. А. Валиева НИЦ «Курчатовский институт» по теме № FFNN-2022-0018.
  3. Bachurin V.I., Kulikov A.N., Rudy A.S., Smirnova M.A. Model of terrace relief formation on the silicon surface sputtered by a focused Ga+ beam. Available at SSRN. Preprint article. DOI: 10.2139/ssrn.5126911
    The work was carried out within the state assignment of NRC “Kurchatov Institute” Reg. № NIOKTR 122020200188-0.
  4. Амиров И.И., Изюмов М.О., Лопаев Д.В., Рахимова Т.В., Кропоткин А.Н., Волошин Д.Г., Палов А.П. Наноструктурированное травление рутения в трехкомпонентной плазме Cl2/O2/Ar. Микроэлектроника. – 2025. – Том 54. – № 3. – C. 251-260. DOI: 10.31857/S0544126925030076, Белый список
    Экспериментальные исследования наноструктурированного травления металла выполнены в рамках государственного задания НИЦ "Курчатовский институт", исследования диагностики и моделирования плазмы ВЧИ-разряда выполнены в рамках государственного задания МГУ имени М.В. Ломоносова.
  5. Бабушкин А.С., Селюков Р.В., Амиров И.И., Наумов В.В., Изюмов М.О. Самосборка трехмерных мезоструктур с использованием локальной ионно-плазменной обработки. Микроэлектроника. – 2025. – Том 54. – № 3. – C. 261-270. DOI: 10.31857/S0544126925030081, Белый список
    Работа проведена в рамках выполнения государственного задания НИЦ "Курчатовский институт".
  6. Уваров И.В. МЭМС-переключатели для передовых систем радиолокации и связи // Наноиндустрия. – 2025. – Том 18. – № S11-1. – C. 345-349. DOI: 10.22184/1993-8578.2025.18.11s.345.349, Белый список
    Работа выполнена в рамках государственного задания ФТИАН им. К.А. Валиева РАН Минобрнауки РФ по теме № FFNN-2022-0017 с использованием оборудования центра коллективного пользования «Диагностика микро- и наноструктур» при финансовой поддержке грантов Фонда содействия инновациям № 91354 и № 91740.
  7. Уваров И.В., Морозов О.В., Постников А.В., Световой В.Б. Измерение энергии адгезии между элементами МЭМС с помощью залипшего кантилевера // Микроэлектроника. – 2025. – Том 54. – № 2. – C. 116-127. DOI: 10.31857/S0544126925020023, Белый список
    Работа выполнена при поддержке РНФ гранта № 24-29-00106. Работы по глубокому травлению кремния проведены в рамках выполнения государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема № 122020200120-0.
  8. Lomov A.A., Belov A.Yu., Punegov V.I., Seredin B.M., Simakin S.G. Experimental Relaxation Volume of Al Impurity in Si(Al) Thermomigrated Structures. J. Phys. Chem. C 2025, 129, 13, 6443–6453. DOI: 10.1021/acs.jpcc.4c08382, Белый список
    This study was carried out with the support of the Russian Ministry of Education and Science as part of a state assignment for Platov South Russian State Polytechnic University by program no. FENN-2023-0005.
  9. Postnikov A.V., Uvarov I.V., Svetovoy V.B. Measurement of the adhesion energy between Si and Au caused by dispersion forces // Physical Review B. – 2025. – Vol. 111. – 085420. DOI: 10.1103/PhysRevB.111.085420, Белый список
    This work was supported by the Russian Science Foundation, Grant No. 24-29-00106.
  10. Postnikov A.V., Uvarov I.V., Morozov O.V., Svetovoy V.B. Casimir-Lifshitz adhesion between Si and Ru measured by the method of adhered cantilever // International Journal of Modern Physics A. – 2025. – 2543008. DOI: 10.1142/S0217751X25430080, Белый список
    A.V.P., I.V.U. and O.V.M. acknowledge support from Program No. FFNN-2022-0017 and V.B.S. from FFZS-2022-0015 of the Ministry of Science and Higher Education of Russian Federation.
  11. Prokaznikov A.V., Selyukov R.V., Paporkov V.A. Conductivity and magneto-optical response of film structures based on tungsten nanolayers with different phase composition. Current Applied Physics. Volume 72, April 2025, Pages 78-86. DOI: 10.1016/j.cap.2025.02.002, Белый список
    The investigation was supported by Program no. FFNN-2022-0018 ?Fundamental and exploratory research in the field of creating instrument structures and active media for storing information based on spintronics elements and the memristor effect" of the Ministry of Science and Higher Education of Russia for Valiev Institute of Physics and Technology of RAS. SEM investigations were performed using the equipment of the Facilities Sharing Centre “Diagnostics of Micro- and Nanostructures”
  12. Уваров И.В., Меленев А.Е., Световой В.Б. Электрохимический актюатор. Патент РФ 2832960, заявл. 09.02.2024, опубл. 13.01.2025.

Лаборатории

Новости и события
Поздравляем!
26.02.2025
Поздравляем!
31.10.2024
Конкурс 13.08.2024
13.08.2024
Поздравляем!
16.05.2024
Конкурс 01.04.2024
01.04.2024
Конкурс 01.03.2024
01.03.2024
Конкурс 27.11.2023
27.11.2023
Конкурс 01.11.2023
01.11.2023
Конкурс 11.10.2023
11.10.2023
Конкурс 02.10.2023
02.10.2023
Контактная информация
Корпус А
150067, г. Ярославль, ул. Университетская, д. 21
+7 (4852) 24-65-52 (приемная)
+7 (4852) 24-09-55 (бухгалтерия)
Корпус Б
150055, г. Ярославль, ул. Красноборская, д. 3
+7 (4852) 24-53-53