Лаборатория исследования формирования многослойных структур

Заведующий лабораторией к.ф-м.н. Трушин О.С.

Основные направления исследований

Разработка технологии изготовления диэлектриков и широкозонных аморфных полупроводников с инкорпорированными кластерами материала с меньшей шириной запрещенной зоны.

  • - Изучение эффекта переключения проводимости в таких материалах и оптимизация запоминающих элементов на его основе.
  • - Изучение способов инкорпорирования в широкозонные полупроводники и диэлектрики на базе кремния кластеров материалов с меньшей шириной запрещенной зоны во время плазмохимического осаждения для получения пленок, обладающим эффектом переключения проводимости.
  • - Изучение способов формирования пленок оксидов металлов с включениями полупроводниковых кластеров обладающих эффектом переключения проводимости.

На основе результатов исследований были получены квази-МОП структуры, обладающие эффектом переключения проводимости в рамках обычных технологий микроэлектроники. Разработана топология экспериментальной запоминающей ячейки. Изготовлены и протестированы многослойные структуры, заменяющие оксид, обладающие эффектом переключения проводимости. Созданы экспериментальные образцы элементов памяти.

Основные публикации

2007

  1. Бердников А.Е., Попов А.А., Черномордик В.Д. Способ получения квантоворазмерных структур на основе аморфных кремниевых нанокластеров, встроенных в диэлектрическую матрицу. Патент РФ на изобретение № 2292606 (H 01 L 21/205)Приоритет от 14 декабря 2004, зарегистрировано 27 января 2007 г.
  2. A.E. Berdnikov, A.A. Popov, A.A. Mironenko, V.D. Chernomordick. Memory Effect in Dielectric with Incorporated Nanosize Clusters // Abstracts of International Conference “Micro- and nanoelectronics – 2007”, Oct.1th-5th, 2007, Moscow-Zvenigorod, Russia, O2-3
  3. S.A.Arzannikova, M.D.Efremov, A.A.Voschenkov, V.A. Volodin, G.N.Kamaev, D.V. Marin, V.S.Shevchuk, S.A.Kochubei, A.A.Popov, Yu.A.Minakov. Falling Down Capacitance Impedance Under Light Illumination of MDS-structure with Three-layer SiNx Dielectrics. // Abstracts of International Conference “Micro- and nanoelectronics – 2007”, Oct.1th-5th, 2007, Moscow-Zvenigorod, Russia, O3-28.

2008

  1. М.Д. Ефремов, В.А. Володин, Д.В. Марин, С.А. Аржанникова, Г.Н. Камаев, С.А. Кочубей, А.А. Попов Вариация края поглощения света в пленках SiNx с кластерами кремния // Физика и техника полупроводников, 2008, том 42, вып. 2, стр.202-207.
  2. S.A. Arzhannikova, M.D. Efremov, V.A. Volodin, G.N. Kamaev, D.V. Marin, V.S. Shevchuk, S.A. Kochubei, A.A. Popov, Yu.A. Minakov Photoinduced variation of capacitance characteristics of MDS-structures with three-layer SiNx dielectrics. // Solid State Phenomena Vols. 131-133 (2008) pp. 461-466.
  3. А.Е. Бердников, А.А. Попов, А.А. Мироненко, В.Д. Черномордик Эффект памяти в SiOx с включенными кластерами кремния // В сб.трудов VI международной конференции «Аморфные и микрокристаллические полупроводники. С.-Пб, 7-9 июля 2008г. с. 124-125.
  4. А.А. Попов, А.А. Мироненко, А.Е. Бердников, В.Д. Черномордик, М.Д. Ефремов, В.А. Володин Электролюминесценция пленок нитрида кремния // В сб.трудов VI международной конференции «Аморфные и микрокристаллические полупроводники. С.-Пб, 2008. с. 150-151.
  5. Бердников А.Е., Мироненко А.А., Попов А.А., Черномордик В.Д. Эффект памяти в пленках SiOx, осажденных в плазме низкочастотного разряда // В сб.трудов 5 международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохимии ISTAPC-2008, Иваново, 2008.

2009

  1. A.E. Berdnikov, A.A. Popov, A.A. Mironenko, V.D. Chernomordick, A.V.Perminov Effect of Conductivity Triggering: Studying and Optimization of MOS-like Structures // Тезисы ICMNE-2009.

Разработка микроприборов на основе эмиссионных катодов из углеродных нанотрубок.

  • - Исследование и разработка методов MOCVD роста УНТ, разработка опытного реактора, стендов испытаний эмиссии УНТ.
  • - Разработка технологии формирования матриц автоэмисиионных наноприборов.
  • - Исследование гибридных материалов на основе УНТ, металлических нанокластеров и проводящих полимеров для технологии наноэлектроники и фотовольтаики.

Разработан метод пиролитического каталитического синтеза углеродных нанотрубок
А) на закрепленном слое пленочного металлического катализатора на кремниевом субстрате.
B) распылительным пиролизом с металлоорганическим прекурсором катализатора.
Исследованы и разработаны процессы роста углеродных нанотрубок типа «лес нанотрубок».

Основные публикации
  1. Savinski N.Gitlin M., Shornikov A. Design of 3D nano-carbon emitter based autoemission devices. “Micro- and nanoelectronics – 2009”, October 5th-9th, 2009, Moscow-Zvanigorod, Russia. Book of abstracts, P1-06.
  2. Orlov S., Gushin O., Yanovich S., Shyshko V., Perveeva O., Savinsky. Investigation of auto-emission diode with CNT emitter under small inter- electrode distance conditions “Micro- and nanoelectronics – 2009”, October 5th-9th, 2009, Moscow-Zvanigorod, Russia. Book of abstracts, P1-05.
  3. Н.Г.Савинский; А.А.Шорников; М.Л.Гитлин // 3D нано-интегрированные автоэмиссионные матрицы наноприборов на основе углеродных наноэмиттеров. Материалы Второго международного форума по нанотехнологиям Роснанотех Москва 2009.

Лаборатории

Новости и события
Подготовка индивидуальных рейтинговых показателей
20.11.2017
Конкурс на замещение вакантной научной должности
01.11.2017
Конкурс на замещение вакантной научной должности
17.07.2017
Конкурс на замещение вакантной научной должности
03.07.2017
ICMPSN 2017
19.04.2017
12.04.2017: Выборы директора ФТИАН РАН
06.04.2017
Выборы директора ФТИАН РАН
24.03.2017
Конкурс на замещение вакантных научных должностей
16.02.2017
Семинар 1 февраля 2017
25.01.2017
Конкурс на замещение вакантных научных должностей
23.01.2017
Контактная информация
Корпус А
150007, г. Ярославль, ул. Университетская, д. 21
+7 (4852) 24-65-52 (приемная)
+7 (4852) 24-09-55 (бухгалтерия)
Корпус Б
150055, г. Ярославль, ул. Красноборская, д. 3
+7 (4852) 24-53-53