- Бучин Э.Ю., Денисенко Ю.И. Развитие метода термомиграции в области микротехнологий. Нано- и микросистемная техника. Т. 26. № 4. 2024. С. 175-183. DOI: 10.17587/nmst.26.175-183, РИНЦ,
Работа выполнена в рамках Государственного задания Физико-технологическому институту им. К. А. Валиева РАН в соответствии с планом работ на 2024 г.
- Морозов М.О., Уваров И.В. Комбинированный резистивно-емкостной МЭМС-переключатель для передовых систем связи. Ученые записки физического факультета Московского университета. 2024. № 3. 2431203. РИНЦ
Работа выполнена в рамках государственного задания ФТИАН им. К.А. Валиева РАН Минобрнауки РФ по теме № FFNN-2022-0017 при финансовой поддержке гранта Фонда содействия инновациям №18ГУЭС18/91354.
- Трушин О.С., Фаттахов И.С., Попов А.А., Мазалецкий Л.А., Ломов А.А., Захаров Д.М., Гайдукасов Р.А., Мяконьких А.В., Шендрикова Л.А. Управляемое наноструктурирование магнитных пленок методом наклонного напыления. Труды Физико-технологического института, т. 32, 2024, М.: Наука, с. 330-346. (PDF)
Работа выполнена в рамках Государственного задания ФТИАН им. К.А. Валиева РАН Минобрнауки РФ по темам № FFNN-2022-0018 и № FFNN-2022-0019. Рентгенодифракционные эксперименты были выполнены в Национальном исследовательском технологическом университете (МИСИС) на кафедре физического материаловедения.
- Рогожин А.Е., Мяконьких А.В., Смирнова Е.А., Ломов А.А., Симакин С.Г., Руденко К.В. Рутений – материал безбарьерных систем металлизации УБИС с проектными нормами 5 нм и менее: технологии атомно-слоевого осаждения и прямого плазмохимического травления нанопроводников. Труды Физико-технологического института, т. 32, 2024, М.: Наука, с. 198-210. (PDF)
Работа выполнена в рамках Государственного задания ФТИАН им. К.А. Валиева РАН Минобрнауки РФ по теме № FFNN-2022-0021.
- Амиров И.И., Морозов О.В. Плазменные процессы формирования микро- и наноструктур в технологии создания устройств микросистемной техники и сенсоров. Труды Физико-технологического института, т. 32, 2024, М.: Наука, с. 349-364. (PDF)
- Уваров И.В., Белозеров И.А., Куприянов А.Н., Пухов Д.Э., Мазалецкий Л.А., Наумов В.В., Королева О.М., Ваганова Е.И., Изюмов М.О., Амиров И.И. Устройства коммутации на основе технологии МЭМС. Труды Физико-технологического института, т. 32, 2024, М.: Наука, с. 365-382. (PDF)
Работа выполнена в рамках Государственного задания ФТИАН им. К. А. Валиева РАН Минобрнауки РФ по теме № FFNN-2022-0017.
- Рудый А.С., Мироненко А.А., Наумов В.В., Курбатов С.В., Егорова Ю.С., Козлов Е.А. Варисторные и контактные явления в тонкопленочных твердотельных литий-ионных аккумуляторах. Труды Физико-технологического института, т. 32, 2024, М.: Наука, с. 383-401. (PDF)
Работа выполнена в рамках Государственного задания ФТИАН им. К.А. Валиева РАН Минобрнауки РФ по теме № FFNN-2022-0017.
- Gorlachev E.S., Mordvintsev V.M., Kudryavtsev S.E. Features of Electroforming and Functioning of Memristors Based on Open TiN–SiO2–Mo Sandwich Structures. Russian Microelectronics. 2024. Volume 53, issue 1, pages 57–64. РИНЦ, Scopus, DOI: 10.1134/S1063739723600887, Квартиль журнала
This study was carried out as part of a state assignment of Valiev Institute of Physics and Technology, Yaroslavl Branch, Russian Academy of Sciences of the Russian Ministry of Education and Science on topic no. FFNN-2022-0018 “Fundamental and exploratory research in the field of creating instrumental structures and active media for storing information based on elements of spintronics and the memristor effect.”
- Трушин О.С., Фаттахов И.C., Попов А.А., Мазалецкий Л.А., Гайдукасов Р.А., Мяконьких А.В. Киральные метаповерхности на основе массивов Co наноспиралей, получаемые методом наклонного напыления. Физика твердого тела, 2024, том 66, вып. 7, с. 1062-1067. РИНЦ, Scopus, WoS, DOI: 10.61011/FTT.2024.07.58374.37HH, Квартиль журнала
Работа выполнена в рамках Государственных программ № FFNN-2022-0018 и № FFNN-2022-0019 Министерства науки и высшего образования России на оборудовании центра коллективного пользования научным оборудованием ”Диагностика микро- и наноструктур“.
- Trushin O.S., Fattakhov I.S., Titov D.R., Popov A.A., Mazaletskii L.A., Gaidukasov R.A., Myakon’kikh A.V. Chiral Thin Film Structures Based on Arrays of Cobalt Nanohelices Obtained By Oblique Deposition. Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics, 2024, Vol. 88, No. 9, pp. 1501–1504. РИНЦ, Scopus, WoS, DOI: 10.1134/S1062873824707761, Квартиль журнала
The work was carried out within the framework of state assignments nos. FFNN-2022-0018 and FFNN-2022-0019 of the Ministry of Science and Higher Education of the Russia Federation using equipment of the Center for Collective Use of Scientific Equipment “Diagnostics of Micro- and Nanostructures.”
- Зимин С.П., Амиров И.И., Наумов В.В., Тиванов М.С., Ляшенко Л.С., Королик О.В., Abramof E., Rappl P.H.O. Наноструктурирование поверхности эпитаксиальных пленок Bi2Te3 при ионно-плазменной обработке. Физика твердого тела. 2024. Том 66, выпуск 8, стр. 1408-1416. РИНЦ, Scopus, WoS, DOI: 10.61011/FTT.2024.08.58608.131, Квартиль журнала
Работа выполнена в рамках государственного задания ЯФ ФТИАН им. К.А. Валиева РАН (тема № FFNN-2022-0017) и Государственной программы научных исследований РБ ”Материаловедение, новые материалы и технологии“. РЭМ-исследования проведены в ЦКП ”Диагностика микро- и наноструктур“ при финансовой поддержке Министерства образования и науки Российской Федерации.
- Kurbatov S.V., Rudy A.S., Naumov V.V., Mironenko A.A., Savenko O.V., Smirnova M.A., Mazaletsky L.A., Pukhov D.E. A Comprehensive Study of Nonuniformity Properties of the LiCoO2 Thin-Film Cathode Fabricated by RF Sputtering. Russian Microelectronics. 2024. Volume 53, pages 202–216. РИНЦ, Scopus, DOI: 10.1134/S1063739724600250, Квартиль журнала
This study was carried out as part of a state assignment of the Yaroslavl branch of Valiev Institute of Physics and Technology, of the Russian Academy of Sciences of the Russian Ministry of Education and Science on topic no. FFNN-2022-0017 on the equipment of the Center for Collective Use “Diagnostics of Micro- and Nanostructures.”
- Уваров И.В. Актюаторы для микроэлектромеханических систем // Наноиндустрия. – 2024. – Том 17. – № S10-2. – C. 403-407. РИНЦ, RSCI, DOI 10.22184/1993-8578.2024.17.10s.403.407
Работа выполнена в рамках государственного задания ФТИАН им. К.А. Валиева РАН Минобрнауки РФ по теме № FFNN-2022-0017 с использованием оборудования Центра коллективного пользования «Диагностика микро- и наноструктур».
- Uvarov I.V., Shlepakov P.S., Svetovoy V.B. A fast and strong microactuator powered by internal combustion of hydrogen and oxygen // Advanced Materials Technologies. – 2024. – 2400690. Scopus, WoS, DOI: 10.1002/admt.202400690, Квартиль журнала
I.V.U. and P.S.S. acknowledge support from Program No. FFNN-2022- 0017 and V.B.S. from Program FFZS-2022-0015 of the Ministry of Science and Higher Education of Russian Federation.
- Grushevskii E. A., Savinskii N. G., Bachurin V. I. Electrolyte–Plasma Cathodic Exfoliation of Graphite. Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics. 2024. Volume 88, pages 485–490. РИНЦ, Scopus, WoS, DOI: 10.1134/S1062873823706165, Квартиль журнала
This work was carried out within the framework of state assignment no. FFNN-2022-0018 for the Valiev Institute of Physics and Technology, Russian Academy of Sciences, Yaroslavl Branch. Some experimental results were obtained using the equipment of the Center for Collective Use “Diagnostics of Micro- and Nanostructures” with the support of the Ministry of Science and Higher Education of the Russian Federation.
- Morozov O.V. Dynamics of Deposition and Removal of a Fluorocarbon Film in the Cyclic Process of Plasma-Chemical Etching of Silicon. Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics. 2024. Volume 88, pages 447–453. РИНЦ, Scopus, WoS, DOI: 10.1134/S1062873823706050, Квартиль журнала
The work was carried out within the framework of state assignment no. FFNN-2022-0017 for the Valiev Institute of Physics and Technology, Russian Academy of Sciences, Yaroslavl Branch, Yaroslavl, Russia, using the equipment of the Center for Collective Use “Diagnostics of Micro- and Nanostructures.”
- Uvarov I.V., Belozerov I.A. Design guideline for a cantilever-type MEMS switch with high contact force // Micro. – 2024. – Vol. 4. – P. 1-13. Scopus, DOI: 10.3390/micro4010001
This research was funded by Program No. FFNN-2022-0017 of the Ministry of Science and Higher Education of Russia for Valiev Institute of Physics and Technology of RAS.
- Prigara V.P., Kupriyanov A.N., Ovcharov V.V. Influence of Quartz Window on Bistability of the Silicon Wafer in Lamp-Based Reactor / Current Innovations in Chemical and Materials Sciences. Edited by Prof. Rachid Masrour. B P International, India, Vol. 6, 22 February 2024 , Page 203-220, Print ISBN: 978-81-970671-8-1, eBook ISBN: 978-81-970671-0-5, DOI: 10.9734/bpi/cicms/v6/2944G
The investigation was supported by Program no. 0066- 2019-0003 of the Ministry of Science and Higher Education of Russia for Valiev Institute of Physics and Technology of RAS.
- Уваров И.В., Шлепаков П.С., Световой В.Б. Способ работы электрохимического актюатора. Патент РФ 2820788, заявл. 22.11.2023, опубл. 10.06.2024.
