«Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт»
ЯФ ФТИАН им. К.А. Валиева РАН
Ярославский Филиал Федерального государственного бюджетного учреждения науки Физико-технологического института имени К.А. Валиева Российской академии наук
Труды конференции ISI 2023: Том 1, Том 2 (PDF, на сайте конференции)
Трушин О.С., Фаттахов И.C., Попов А.А., Мазалецкий Л.А., Ломов А.А. Управление магнитной анизотропией и оптическими характеристиками наноструктурированных пленок кобальта методом наклонного напыления. Труды XXVII международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника» 2023 Т. 1, с. 319-320
Смирнова М.А., Бачурин В.И., Лобзов К.Н., Мазалецкий Л.А., Пухов Д.Э., Симакин С.Г., Чурилов А.Б. Угловые зависимости распыления германия ионным пучком галлия. Тезисы докладов 52-й международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами . 2023. с. 9.
Gorlachev E.S., Mordvintsev V.M., Kudryavtsev S.E. Electrical characteristics of memristors based on open TiN-SiO2-Mo sandwich structures. Proceedings of the International conference “Micro- and nanoelectronics – 2023”, p. 27 (O1-15).
Amirov I., Izyumov M., Lopaev D., Zotovich A., Ziryanov S., Rakhimova T. Ruthenium etching in three-component plasma Cl2/O2/Ar. Proceedings of the International conference “Micro- and nanoelectronics – 2023”, p. 40 (O1-28).
Belozerov I.A., Uvarov I.V. A force-enhanced MEMS switch with a compact cantilever. Proceedings of the International conference “Micro- and nanoelectronics – 2023”, p. 61 (O2-04).
Babushkin A., Selyukov R. Development of a toroidal microinductor made by self-assembly using residual mechanical stress. Proceedings of the International conference “Micro- and nanoelectronics – 2023”, p. 62 (O2-05).
Amirov I., Izuymov M., Kypriyanov A. Fabrication of nanostructures colored layer of amorphous silicon for different applications. Proceedings of the International conference “Micro- and nanoelectronics – 2023”, p. 71 (O2-14).
Fadeev A., Viakonkikh А., Smirnova E., Simakin S., Rudenko K. Carbon impurities in HfO2 leyers deposited by ALD: model and verification. Proceedings of the International conference “Micro- and nanoelectronics – 2023”, p. 124 (O3-10).
Smirnova M., Bachurin V., Lebedev M., Lobzov K., Mazaletsky L., Pukhov D., Churilov A. Formation of wave-like porous nanorelief of Ge surface using Ga+ focused ion beam. Proceedings of the International conference “Micro- and nanoelectronics – 2023”, p. 134 (O3-20).
Trushin O.S., Fattakhov I.S., Popov A.A., Mazaletsky L.A., Lomov A.A., Zakharov D.M., Gaidukasov R.A., Miakonkikh A.V., Shendrikova L.A. Controlled nanostructuring of magnetic films by oblique angle deposition. Proceedings of the International conference “Micro- and nanoelectronics – 2023”, p. 136 (O3-22).
Fattakhov I.S., Trushin O.S. Computer simulation of thin film nanostructuring at oblique angle deposition. Proceedings of the International conference “Micro- and nanoelectronics – 2023”, p. 137 (O3-23).
Grushevski E.A., Savinski N.G., Trushin O.S., Shendrikova L.A. Magnetic properties of Ni nanowires in porous anodic alumina matrix. Proceedings of the International conference “Micro- and nanoelectronics – 2023”, p. 138 (O3-24).
Khramov A., Savinski N. Method of control, diagnostics and characterizarion of nanographite and multigraphene flakes materials produced by electrochemical exfoliation of graphite. Proceedings of the International conference “Micro- and nanoelectronics – 2023”, p. 162 (P2-02).
Barabanova N.I., Trushin O.S. Micromagnetic modeling of skyrmions in thin film structures. Proceedings of the International conference “Micro- and nanoelectronics – 2023”, p. 164 (P2-04).
Chebokhin M.M., Popov A.A. Mechanical properties of nanostructures produced by oblique angle deposition. Proceedings of the International conference “Micro- and nanoelectronics – 2023”, p. 165 (P2-05).
Ovcharov V., Prigara V., Kurenya F. Simulating longitudinal temperature bistability in a silicon wafer during thermal treatment in a lamp chamber Proceedings of the International conference “Micro- and nanoelectronics – 2023”, p. 173 (P2-13).
Morozov O.V. Mask Erosion Suppression and Etch Profile Correction in the Adapted Three-Step Deep Reactive Ion Etching of Silicon. Proceedings of the International conference “Micro- and nanoelectronics – 2023”, p. 174 (P2-14).
Buchin Ed., Denisenko Yu. New applications for thermomigration processes in semiconductor technology and optoelectronics. Proceedings of the International conference “Micro- and nanoelectronics – 2023”, p. 175 (P2-15).
Selyukov R., Naumov V. Ion-assisted magnetron deposition of AlN films. Proceedings of the International conference “Micro- and nanoelectronics – 2023”, p. 176 (P2-16).
Уваров И.В. Актюаторы для микроэлектромеханических систем. Сборник тезисов Российского форума «Микроэлектроника 2023», 9-я научная конференция «ЭКБ и микроэлектронные модули» "Сириус", с. 455-457.
Belozerov I.A., Uvarov I.V. A cantilever type MEMS switch with enhanced contact force: the first results. 10th International School and Conference on Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures “Saint Petersburg OPEN 2023”. Book of abstracts. P. 142-143.
Grushevski Е.А., Savinski N.G., Trushin О.S. Polishing methods for formation nanoporous anodized alumina. 10th International School and Conference on Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures “Saint Petersburg OPEN 2023”. Book of abstracts. P. 550-551.
Morozov M.O., Uvarov I.V. Modeling of a capacitive MEMS-switch with «floating» electrode. SCIENCE DRIVE – 2023: Proceedings of the International Scientific Conference. P. 21-23.
Трушин О.С., Фаттахов И.С., Попов А.А., Мазалецкий Л.А., Гайдукасов Р.А., Мяконьких А.В. Киральные пленочные структуры на основе массивов кобальтовых наноспиралей, получаемые методом наклонного напыления. ФОТОНИКА 2023: Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники (с участием иностранных ученых), Новосибирск, с. 20.
Зимин С.П., Тиванов М.С., Колесников Н.Н., Амиров И.И., Мазалецкий Л.А., Наумов В.В., Ляшенко Л.С., Королик О.В. Деградация наноструктур PbS, сформированных методом ионно-плазменной обработки. Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы 15-й Междунар. конф., Минск, Беларусь. 2023. С. 388-391.
Morozov M.O., Uvarov I.V. Modeling of a «capacitive» MEMS-switch with «floating» electrode. Book of Abstracts: 10th International School and Conference Saint-Petersburg OPEN 2023 (SPBOPEN 2023). (23 – 26 May 2023) – St. Petersburg: National Research University Higher School of Economics, 2023. – P. 166-167.
Морозов М. О., Уваров И. В. Моделирование емкостного МЭМС-переключателя c плавающим электродом \\ Микроэлектроника и информатика – 2023. XXX Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов: тезисы докладов. – М.: МИЭТ, 2023 С. 284. Конференция Микроэлектроника и информатика – 2023. МИЭТ (Зеленоград) 20-21 апреля
Morozov M.O., Uvarov I.V. Modeling of a combined resistive-capacitive MEMS switch // Micro- and Nanoelectronics – 2023: Proceedings of the International Conference (October 2–6, 2023, Zvenigorod, Russia): Book of Abstract – 2023 – P. 59. 15-я Международная конференция «ICMNE– 2023» (International Conference «Micro- and Nanoelectronics») в Звенигороде 2-6 октября
Shlepakov P. S., Uvarov I. V., Abramychev A. M., Svetovoy V. B. Testing the fast electrochemical micropump with PDMS membrane. \\ 10th International School and Conference on Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures Book of Abstracts. P. 185-186. конференция Saint Petersburg OPEN 2023. Санкт-Петербург 23-26 мая.
Shlepakov P.S., Uvarov I.V. Improving the performance of a MEMS energy harvester by proof mass optimization // Micro- and Nanoelectronics – 2023: Proceedings of the International Conference (October 2–6, 2023, Zvenigorod, Russia): Book of Abstract – 2023 – P. 60. 15-я Международная конференция «ICMNE– 2023» (International Conference «Micro- and Nanoelectronics») в Звенигороде 2-6 октября.
Shlepakov P.S., Uvarov I.V., Svetovoy V.B. Explosive operation of the fast electrochemical actuator: the first results // Micro- and Nanoelectronics – 2023: Proceedings of the International Conference (October 2–6, 2023, Zvenigorod, Russia): Book of Abstract – 2023 – P. 72. 15-я Международная конференция «ICMNE– 2023» (International Conference «Micro- and Nanoelectronics») в Звенигороде 2-6 октября
Амиров И. И., Изюмов М. О., Куприянов А. Н. Формирование яркой, цветной, наноструктурированной поверхности аморфного кремния при травлении в хлорсодержащей плазме. // Нанофизика и наноэлектроника. Труды XXVII Международного симпозиума (Нижний Новгород, 13–16 марта 2023 г.). Т.2. Р. 517-519. ISBN 978-5-8048-0120-6.
Кибалов Д.С., Смирнов В.К. Самоформирующаяся твердотельная наномаска и её индуцированная когерентность. Труды XXVI Международной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью 2023» (ВИП-2023). Том 1, с. 26-31.
Белов Я.Д., Куприянов А.Н., Лобзов К.Н., Бачурин В.И., Амиров И.И. Моделирование распыления Al-Si с использованием машинного обучения. Труды XXVI Международной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью 2023» (ВИП-2023). Том 1, с. 47-49.
Смирнова М.А., Лобзов К.Н., Лебедев М.Е., Мазалецкий Л.А., Пухов Д.Э., Васильев С.В., Бачурин В.И., Чурилов А.Б. Волнообразные периодические структуры на поверхности кремния, инициируемые облучением фокусированным ионным пучком галлия. Труды XXVI Международной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью 2023» (ВИП-2023). Том 1, с. 226-230.
Данилов Ю.А., Агафонов Ю.А., Бачурин В.И., Быков В.А., Вихрова О.В., Зиненко В.И., Калентьева И.Л., Кудрин А.В., Парафин А.Е., Симакин С.Г., Юнин П.А., Яковлева А.А. Свойства GaAs, облученного ионами марганца. Труды XXVI Международной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью 2023» (ВИП-2023). Том 1, с. 261-264.
Паршин Е.О., Мелесов Н.С. Особенности дефектообразования при облучении Ga-содержащих материалов. Труды XXVI Международной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью 2023» (ВИП-2023). Том 1, с. 306-309.
Трушин О.С., Фаттахов И.С., Попов А.А., Мазалецкий Л.А., Гайдукасов Р.А., Мяконьких А.В. Получение хиральной метаповерхности методом наклонного напыления. Труды XXVI Международной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью 2023» (ВИП-2023). Том 2, с. 68-71.
Бабушкин А.С., Куприянов А.Н. Исследование методом молекулярной динамики обратимой релаксации сжимающих механических напряжений в поликристаллических пленках металлов после остановки их осаждения. Труды XXVI Международной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью 2023» (ВИП-2023). Том 2, с. 72-75.
Проказников А.В., Папорков В.А., Селюков Р.В., Васильев С.В., Савенко О.В. Структура и магнитные свойства многослойных наносистем на основе тонких пленок кобальта и металлов группы хрома, нанесенных магнетронным способом. Труды XXVI Международной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью 2023» (ВИП-2023). Том 2, с. 96-99.
Селюков Р.В., Наумов В.В., Изюмов М.О., Амиров И.И., Васильев С.В., Мазалецкий Л.А. Структура и электросопротивление пленок Pt, подвергнутых бомбардировке ионами с энергией ниже порога распыления. Труды XXVI Международной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью 2023» (ВИП-2023). Том 2, с. 104-107.
Амиров И.И., Изюмов М.О., Алов Н.В., Шаранов П.Ю., Лопаев Д.В., Рахимова Т.В. Влияние ионной бомбардировки на скорость травления и состав поверхности пленки рутения в кислородсодержащей плазме. Труды XXVI Международной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью 2023» (ВИП-2023). Том 2, с. 147-149.
Грушевский Е.А., Савинский Н.Г., Бачурин В.И. Процесс селективного легирования графенной структуры методом электролитно-плазменной катодной электрохимической эксфолиации графита. Труды XXVI Международной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью 2023» (ВИП-2023). Том 2, с. 171-174.
Зимин С.П., Амиров И.И., Тиванов М.С., Колесников Н.Н., Королик О.В., Ляшенко Л.С., Жигулин Д.В., Мазалецкий Л.А., Васильев С.В., Савенко О.B.. Влияние ионно-плазменной обработки на морфологию поверхности и структурные свойства кристаллов GaTe. Труды XXVI Международной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью 2023» (ВИП-2023). Том 2, с. 175-177.
Морозов О.В. Динамика осаждения и удаления фторуглеродной пленки в циклическом процессе плазмохимического травления кремния. Труды XXVI Международной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью 2023» (ВИП-2023). Том 2, с. 188-191.
