Пленка пористого AlOx
СЭМ изображение поверхности пористого покрытия AlOx.
СЭМ изображение скола структуры AlOx/Cr/Cu/Cr/Si, полученное под углом к поверхности 30 градусов. Справа внизу просматривается подложка кремния. Выше - слой хрома, еще выше слой меди, который выглядит вытянутым, еще выше второй слой хрома. Самый верхний пористый слой AlOx. Обращаем внимание на то, что слой AlOx диэлектрик.