Структура Si(10нм)/[Ti(2нм)Co(2нм)]3/Si
СЭМ изображение поперечного скола многослойной пленочной структуры, полученное под углом к поверхности 30 градусов. Видны два слоя. Толщина каждого слоя около 10 нм. Верхний слой – кремний. Нижний слой – шесть чередующихся слоев титана и кобальта, толщина каждого из этих слоев 2 нм. Видно, что эти шесть слоев по отдельности не просматриваются.