Тезисы и доклады конференций сотрудников ЯФ ФТИАН им. К.А. Валиева за 2022 год
- О.С. Трушин, И.С. Фаттахов А.А. Попов, Л.А. Мазалецкий. Управляемое наноструктурирование пленок кобальта методом наклонного напыления. III Международная конференция «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур». Казань, 1-4 декабря 2022 г.
- Е.А. Грушевский, Н.Г. Савинский, М.А. Смирнова, Д.Э. Пухов, Р.В. Селюков. Электролитно-плазменный способ получения нанографита катодной эксфолиацией. III Международная конференция «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур». Казань, 1-4 декабря 2022 г.
- Е.А. Грушевский, Н.Г. Савинский, О.С. Трушин. Погруженный в электролит плазменный разряд как метод полировки для формирования наноразмерных матриц из анодированного оксида алюминия. III Международная конференция «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур». Казань, 1-4 декабря 2022 г.
- И.И. Амиров, А. Куприянов, М. Изюмов. Структурый цвет. Получение цветного слоя наноструктурированного аморфного кремния при травлении в хлорсодержащей плазме. III Международная конференция «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур». Казань, 1-4 декабря 2022 г.
- А.Н. Куприянов, И.И. Амиров. Моделирование методом молекулярной динамики низкоэнергетического распыления ионами аргона наноструктурированной поверхности кремния. III Международная конференция «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур». Казань, 1-4 декабря 2022 г.
- И.И. Амиров. Плазменные процессы формирования наноструктур для целей наноэлектроники и нанофотоники. Российский форум «Микроэлектроника 2022. 2-4 октября. РозаХутор.
- Shlepakov P. S., Uvarov I. V, Svetovoy V.B. Ruthenium as an electrode material for the fast electrochemical actuator //Book of Abstracts «9th International School and Conference on Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures». Saint Petersburg 24-27 May 2022. – P. 559-560
- Uvarov I. V., Shlepakov P. S., Abramychev A.M., Svetovoy V.B. Fabrication of a micropump based on the fast electrochemical actuator with the PDMS membrane //Book of Abstracts «9th International School and Conference on Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures». Saint Petersburg 24-27 May 2022. – P. 559-560
- Шлепаков П. С. Исследование деградации рутениевых электродов в электролизе переменной полярности. Конференция ЯрГУ «Физика техника и технологии сложных систем». Ярославль, 21-29 апреля 2022 г.
- Шлепаков П. С., Уваров И. В., Абрамычев А. М., Световой В. Б. Микронасос на основе быстрого электрохимического актюатора //Российский форум «Микроэлектроника 2022» 8-я Научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули» Пос. Гурзуф, 27 сентября – 01 октября 2022. – С. 859-861
- Смирнова, М.А. Дозовые и угловые распределения имплантированных ионов галлия в кремнии / М.А. Смирнова, В.И. Бачурин, С.В. Васильев, Е.А. Козлов, М.Е. Лебедев, Д.Э. Пухов, С.Г. Симакин, А.Б. Чурилов // VIII всероссийская конференция и школа молодых ученых и специалистов «Физические и физико-химические основы ионной имплантации» 11-14 октября 2022 года, г. Казань, Россия. Тезисы докладов. С. 56