«Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт»
ЯФ ФТИАН им. К.А. Валиева РАН
Ярославский Филиал Федерального государственного бюджетного учреждения науки Физико-технологического института имени К.А. Валиева Российской академии наук
Тезисы и доклады конференций сотрудников ЯФ ФТИАН за 2008 год
V.V. Kostyuchenko Exchange Interaction and Magnetic Structures of theNanocluster V15 in Strong Magnetic Fields. Moscow International Symposium on Magnetism (MISM-2008).
V.V. Kostyuchenko Finite Size Effects in Field-Induced Transitions in Magnetic Multilayers. Moscow International Symposium on Magnetism (MISM-2008).
В.В. Наумов, В.А. Папорков, М.В. Лоханин, Е.А. Богоявленская. Зависимость экваториального эффекта Керра от угла падения света для сверхтонких пленок кобальта и мультислоев Co/Cu/Co. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника, сборник трудов научно-практической межрегиональной конференции. Ярославль. 2008. С. 90-96.
Проказников А.В., Бучин Э.Ю., Ваганова Е.И. Различные технологии формирования пористых слоев оксида алюминия. Тезисы докладов V Международной конференции «Кремний - 2008», Черноголовка, 2008, с.197.
Можаев А.В., Проказников А.В. Компьютерное моделирование роста трехмерных кластеров, интегрированных в матрицу. Тезисы докладов V Международной конференции «Кремний - 2008», Черноголовка, 2008, с.57.
Лаптев А.Н., Проказников А.В., Рудь Н.А. Влияние адсорбции на свойства структур на пористом кремнии. Сборник научных трудов научно-практической межрегиональной конференции, «Квантовые компьютеры, диагностика и моделирование». Ярославль. 2008. С. 73.
Можаев А.В., Проказников А.В. Компьютерное моделирование формирования кластеров на основе масштабной инвариантности случайных блужданий. Труды Пятого Международного междисцинлинарного симпозиума «Прикладная синергетика в нанотехнологиях», Москва, 2008, с. 204.
Бочкарев В.Ф., Бучин Э.Ю. Влияние электромагнитных полей на процесс формирования сверхтонких FeNi пленок при плазмостимулирующем методе осаждения. Материалы ХХI Международного симпозиума. “Тонкие пленки в электронике”, Москва, 2008, с. 444.
О.С. Трушин, Н. Барабанова, В.П. Алексеев. Исследование магнитных характеристик пермаллоевых наноструктур методом микромагнитного моделирования. Сборник научных трудов научно-практической межрегиональной конференции. Ярославль 2008, стр. 131.
В.В. Наумов, Э.Ю. Бучин, Е.С. Горлачев. Магнетосопротивление многослойных структур, полученных магнетронным методом. «Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника», сборник трудов. Ярославль. 2008. С. 97.
О.С. Трушин, Д.А. Коканов, В.Ф. Бочкарев, В.В. Наумов, Э.Ю. Бучин. Автоматизированный стенд для экспресс диагностики магниторезистивных структур. «Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника», сборник трудов. Ярославль 2008, стр.136.
В.В. Наумов, В.Ф. Бочкарев, Э.Ю. Бучин. Увеличение адгезии металлических пленок к кремнию с помощью ионной бомбардировки в процессе их роста. Материалы XXI Международного симпозиума «Тонкие пленки в электронике». Москва. 2008. С. 425.
Бочкарев В.Ф., В.В. Овчаров. Получение многокомпонентных пленок плазмостимули-рующим методом. «Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника», сборник трудов. Ярославль. 2008. С.14 –19.
Степанов В.И., Чурилов А.Б. Оптический метод исследования неравновесной квазиодномерной электронно-дырочной плазмы в системе параллельных квантовых проволок. Квантовые компьюторы, микро–и наноэлектроника. Сборник трудов научно-практической межрегиональной конференции. Ярославль 2008, стр.170.
Khlyap G., Laptev V., Andrukhiv A., Андрюхив М.Г., Рудый А.С., Чурилов А.Б. Вольт-емкостное профилирование гетероструктур на основе эпитаксиальных слоев ZnCdHgTe. Квантовые компьюторы, микро–и наноэлектроника. Сборник трудов научно-практической межрегиональной конференции. Ярославль 2008, стр.179.
С.П. Зимин, Е.А. Богоявленская, Э.Ю. Бучин, С.Г. Симакин, В.М. Васин ВИМС-исследования анодированных пленок PbTe. Сборник трудов научно-практической межрегиональной конференции “Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника”, Ярославль, 2008 г. С. 39.
С.П. Зимин, В.М. Васин, Е.А. Богоявленская, Э.Ю. Бучин, О.Г. Ашхотов. Изменение соотношения атомов свинца и теллура в объеме анодированных пленок теллурида свинца. Труды X международной конференции “Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы”, Ульяновск, 2008 г. С. 163.
Денисенко Ю.И. Формирование наноразмерной пористой структуры в кремнии при отжиге в присутствии температурного градиента. Сборниктрудов научно-практической межрегиональной конференции. Ярославль, с. 28 (2008).
Денисенко Ю.И. Особенности формирования нанопористой структуры в кремнии, имплантированном фосфором и кислородом при отжиге в неизотермическом реакторе. Труды 8 международного совещания “Радиационная физика твердого тела РФТТ-2008”, Севастополь, Украина, c.175 (2008).
Денисенко Ю.И. Формирование наноразмерной пористой структуры в кремнии, имплантированном фосфором и кислородом. Кремний-2008, Тезисы докладов 5 международной конференции, Черноголовка, Россия, С.195, (2008).
Денисенко Ю.И. Порообразование в кремнии, имплантированном фосфором и кислородом, после отжига в неизотермическом реакторе. Физические и физико-химические основы ионной имплантации Сб. тезисов докладов 2 Всероссийской конф. Казань, С.75 (2008).
В.И. Рудаков, Ю.И. Денисенко, Б.В. Мочалов, В.В. Овчаров, С.Г. Симакин. Особенности эволюции атомов легирующих примесей при БТО кремниевых пластин в неизотермическом реакторе. Кремний-2008, Тезисы докладов 5 международной конференции. Черноголовка. С.202, (2008).
Кривелевич С.А. Моделирование процессов фазообразования в тонкопленочных системах в условиях ассоциированной ионной имплантации. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Сборник трудов научно–практической межрегиональной конференции. Ярославль. 2008. С. 153.
Бачурин В.И., Кривелевич С.А. Влияние облучения ионами аргона на образование интерметаллических соединений в системе никель-алюминий. Тезисы докладов XXXVIII международной конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. 2008. С.162
Кривелевич С.А. Кремниевые нанотранзисторы на основе скрытых слоев силикатных стекол. Тезисы докладов V Международной конференции «КРЕМНИЙ-2008». Черноголовка. 2008. С.264
Кривелевич С.А. Ионно-стимулированное образование интерметаллидов в двухслойных металлических системах. Тезисы докладов II всероссийской конференции Физические и физико-химические основы ионной имплантации ФФХОИ-2008. Казань. 2008. С.57.
Кривелевич С.А. Транзисторные структуры на основе скрытых ионно-синтезированных слоев силикатных стекол. Тезисы докладов II всероссийской конференции Физические и физико-химические основы ионной имплантации ФФХОИ-2008. Казань. 2008. С.63
И.И. Амиров, А.С. Шумилов. Формирование микроструктур со сверхвысоким аспектным отношением в кремнии в циклическом травление/пассивация процессе в плазме SF6/C4F8. Тезисы доклада V Международной конференции «КРЕМНИЙ -2008». Черноголовка. 2008. С. 196.
А.С. Шумилов, И.И. Амиров, В.Ф. Лукичев. Моделирование формирования глубоких с разным профилем канавок в кремнии в плазмохимическом, циклическом процессе. Труды V Международного Симпозиума по плазмохимии. Иваново. 2008. С.285.
И.И. Амиров. Эффекты формирования сверхвысокоаспектных микроструктур в кремнии в циклическом процессе в плазме SF6/C4F8. Труды V Международного Симпозиума по плазмохимии. Иваново. 2008. С. 569.
О.В. Морозов. Особенности формирования широких и узких канавок в кремнии в циклическом процессе глубокого плазменного травления. Труды V Международного Симпозиума по плазмохимии. Иваново. 2008. С. 597.
И.И. Амиров, М.О. Изюмов. Влияние температуры стенки реактора на параметры фторуглеродной плазмы высокочастотного разряда низкого давления. Труды V Международного Симпозиума по плазмохимии. Иваново. 2008. С.142.
М.О. Изюмов, И.И. Амиров. Глубокое анизотропное травления кварца в малогабаритном реакторе высокоплотной фторуглеродной плазмы ВЧИ разряда. Тезисы докладов Научно-практической межрегиональной конференции "Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника"Ярославль, 2008. С. 52.
И.И. Амиров, А.С. Шумилов. Моделирование формирования наноструктур на поверхности кремния в плазмохимическом, циклическом процессе травление/осаждение. Тезисы докладов Научно-практической межрегиональной конференции "Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника "Ярославль, 2008.
И.И. Амиров, А.В. Куприянов. Формирование нано-и микроструктур на поверхности кремния в плазмохимическом, циклическом процессе. Тезисы докладов Научно-практической межрегиональной конференции "Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника". Ярославль. 2008. С. 4.
А.В. Постников, О.В. Морозов, В.А. Кальнов, И.И. Амиров. Конструкция и технология изготовления электростатического грибенчатого привода. Тезисы докладов Научно-практической межрегиональной конференции "Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника". Ярославль. 2008.
А.С. Шумилов, И.И. Амиров. Моделирование формирования микроигл на поверхности кремния в плазмохимическом, циклическом процессе. Тезисы и труды Международной конференции «микроэлектроника и наноинженерия 2008» Зеленоград. C. 121.
В.А. Кальнов, О.В. Морозов, А.В. Постников, И.И. Амиров. Изготовление инерциального микросенсора с использованием метода плазменного глубокого травления кремния. Наноинженерия. 2008. Зеленоград. С. 138
А.Е. Бердников, А.А. Попов, А.А. Мироненко, В.Д. Черномордик Эффект памяти в SiOx с включенными кластерами кремния. Сб. трудов VI международной конференции «Аморфные и микрокристаллические полупроводники». С.-Пб, 2008. с. 124.
А.А. Попов, А.А. Мироненко, А.Е. Бердников, В.Д. Черномордик, М.Д. Ефремов, В.А. Володин Электролюминесценция пленок нитрида кремния. Сб.трудов VI международной конференции «Аморфные и микрокристаллические полупроводники». С.-Пб. 2008. с. 150.
Н.В.Вишняков, С.П.Вихров, В.Г.Мишустин, А.П. Авачев, И.Г.Уточкин, Е.И. Дивущак, А.А.Попов Формирование квазиомических контактов в тонкопленочных устройствах на аморфных полупроводниках. Сб.трудов VI международной конференции «Аморфные и микрокристаллические полупроводники». С.-Пб. 2008. С. 279.
Бердников А.Е., Мироненко А.А., Попов А.А., Черномордик В.Д. Эффект памяти в пленках SiOx, осажденных в плазме низкочастотного разряда. Сб. трудов 5 международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохимии ISTAPC-2008, Иваново, 2008.
А.Е.Бердников, А.А.Мироненко, А.А.Попов, В.Д.Черномордик, А.В.Перминов. Изучение вольт-амперных характеристик диэлектрических пленок на базе кремния, осажденных в плазме низкочастотного разряда. Сб. трудов научно-практической межрегиональной конференции «Квантовые компьютеры, микро- наноэлектроника», Ярославль. 2008. С. 21.
Рудаков В.И., Овчаров В.В., Пригара В.П. Проблема температурной неустойчивости при быстром термическом отжиге кремниевых пластин с помощью некогерентного излучения. Тезисы докладов V Международной конференции «Кремний-2008». Черноголовка. С. 203.
Рудаков В.И., Овчаров В.В. Математическая модель диффузии атомов примеси в ультратонких слоях кремния с неоднородным распределением температуры. Тезисы докладов V Международной конференции «Кремний-2008». Черноголовка. С. 171.
Рудаков В.И., Денисенко Ю.И., Мочалов Б. В., Овчаров В.В., Симакин С.Г. Особенности эволюции концентрационных профилей атомов легирующих примесей при БТО кремниевых пластин в неизотермическом реакторе. Тезисы докладов V Международной конференции «Кремний-2008». Черноголовка. С. 202.
Рудаков В.И., Гусев В.Н. Расчет концентрационных профилей меди в контактной системе Cu/TiN/CoSi2/Si. Сборник научных трудов научно-практической межрегиональной конференции, Ярославль, С. 120. (2008).
Н.Г. Савинский, А.А. Шорников, М.Л. Гитлин. Рост углеродных наноструктур каталитическим пиролизом паров этанола для автоэмиссионных катодов. Материалы межрегиональной конференции «Микро и наноэлектроника». Ярославль. 2008. С.178.
Н.Г.Савинский, А.А.Шорников, М.Л.Гитлин, С.М.Орлов, О.П.Гущин, Г.Н. Петрухин. Пиролитический синтез углеродных наноструктур из этанола для автоэмисиионных катодов. Материалы I-го Международного форума по нанотехнологиям. 2008. Москва, С.3.
Savinski N.G., Gitlin M.L. Polymer Electronics. Proceeding Of III International Conference Polymers 2008. Yaroslavl. P. 475.
Маковийчук М.И. Фликкер-шумовая спектроскопия – диагностический инструмент технологии полупроводниковых наноструктур. Труды XII Международного Симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника». Нижний Новгород. 2008. Т.2. С.329.
Маковийчук М.И. Разработка оригинальных подходов по усилению адсорбционной способности поверхности кремния модифицирующим воздействием ионных пучков аргона. Тезисы докладов ХХXVIII Международной конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. Москва. 2008. С. 191.
Маковийчук М.И., Проказников А.В. Фликкер-шумовой газовый сенсор. Труды Девятой Международной научно-практической конференции «Современные информационные и электронные технологии». Одесса. 2008. С.157.
Проказников А.В., Можаев А.В., Маковийчук М.И. Трехмерное моделирование динамических стохастических процессов в задачах микроэлектроники. Труды Девятой Международной научно-практической конференции «Современные информационные и электронные технологии». Одесса. 2008. С. 168.
Makoviychuk M.I. Fundamental and applied aspects of low-frequency noise spectroscopy. Proceed. Fourth Int. Workshop “Relaxed, Nonlinear and Acoustic Optical Processes; Materials – Growth and Optical Properties” – RNAOPM-2008. Lutsk. 2008. P.7.
Маковийчук М.И. Разработка кремниевого фликкер-шумового газового сенсора для селективного детектирования хлорорганических соединений в окружающей газовой среде. Тезисы докладов V Международной конференции «КРЕМНИЙ-2008». Черноголовка. 2008. С. 246.
Маковийчук М.И. Низкочастотно-шумовая спектроскопия – диагностический инструмент дефектно-примесной инженерии в микротехнологии. Тезисы докладов V Международной конференции «КРЕМНИЙ-2008». Черноголовка. 2008. С. 220.
Маковийчук М.И. Разработка фликкер-шумового газового сенсора на базе структуры «кремний на изоляторе». Труды XVIII Международного совещания «Радиационная физика твердого тела». Севастополь. 2008. С.408.
Маковийчук М.И. Классификация низкочастотных электрических флуктуаций в структурно-неупорядоченных полупроводниках. Материалы докладов Международного научно-методич. семинара "Шумовые и деградационные процессы в полупроводниковых приборах". Москва. 2008. С. 60.
Маковийчук М.И. Классификация методов спектроскопии НЧ шумов в структурно-неупорядоченных полупроводниках. Материалы докладов Международного научно-методич. семинара "Шумовые и деградационные процессы в полупроводниковых приборах". Москва. 2008. С. 66.
Маковийчук М.И. Фундаментальные и прикладные аспекты низкочастотно-шумовой спектроскопии в кремниевой микро- и наноэлектронике. Сб. научных трудов научно-практической межрегиональной конференции «Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Ярославль. 2008. С. 86.
Маковийчук М.И. Применение ионной имплантации при разработке газовых сенсоров нового поколения. Материалы II Всероссийской конференции «Физические и физико-химические основы ионной имплантации». Н.-Новгород. 2008. С. 68.
М.И. Маковийчук, А.А. Чапкевич. Физические и физико-химические основы КНИ-фликкер-шумовых газовых сенсоров. Материалы II Всероссийской конференции «Физические и физико-химические основы ионной имплантации». Казань. 2008. С.130.
Мордвинцев В. М., Кудрявцев С. Е. Возможность согласования технологии памяти самоформирующихся проводящих наноструктур с типовой КМОП технологией. VIII научно-практический семинар «Проблемы создания специализированных радиационно-стойких СБИС на основе гетероструктур». Нижний Новгород. 2008.
Зимин С. П., Горлачёв Е. С., Амиров И. И. Физические и технологические основы создания ансамбля квантовых точек А4В6 на кремниевых подложках при плазменном распылении. Тезисы докладов научно-технологических секций 1-го международного форума по нанотехнологиям, том 1. М. 2008. С. 812.
Зимин С. П., Горлачёв Е. С., Амиров И. И. Особенности модифицирования в плазме поликристаллических пленок халькогенидов свинца на пористом кремнии. Сборник статей 6-й международной конференции «Аморфные и микрокристаллические полупроводники». С.-Пб. 2008. С. 234.
Зимин С. П., Горлачёв Е. С., Амиров И. И. Роль фтора в процессах микромаскирования при модификации поверхности эпитаксиальных пленок халькогенидов свинца в аргоновой плазме. Труды 5-го международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохимии. Том 2. Иваново. 2008. С. 438.
Зимин С. П., Горлачёв Е. С., Амиров И. И. Высокие скорости распыления пленок халькогенидов свинца в аргоновой плазме. Труды 6-й международной научной конференции «Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах». Томск. 2008. С. 967.
Зимин С. П., Горлачёв Е. С., Герке М. Н., Кутровская С. В., Амиров И. И. Атомно-силовая микроскопия наноструктур, сформированных на эпитаксиальных пленках А4В6 методами плазменной обработки. Тезисы молодежной школы-семинара «Современный нанотехнологии и нанофотоника для науки и производства». Владимир. 2008. С. 66.
Зимин С. П., Горлачёв Е. С., Амиров И. И. Особенности плазменного распыления эпитаксиальных пленок А4В6. Труды научно-практической межрегиональной конф. «Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника». Ярославль. 2008. С. 46.
