«Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт»
ЯФ ФТИАН им. К.А. Валиева РАН
Ярославский Филиал Федерального государственного бюджетного учреждения науки Физико-технологического института имени К.А. Валиева Российской академии наук
Морозов О.В., Морозов А.О., Амиров И.И. Мониторинг процесса глубокого реактивного ионного травления методом лазерной интерферометрии. // 5-ая Международная научно-техническая конференция «Технологии микро- и наноэлектроники в микро- и наносистемной технике». Труды конференции. (13-15 апреля 2016 г.) Москва, Россия, с. 84.
Зимин С.П., Горлачев Е.С., Мокров Д.А., Амиров И.И., Гременок В.Ф., Иванов В.А. Особенности роста наноструктур по механизму «пар-жидкость-кристалл» на поверхности пленок SnS при плазменной обработке. // 5-ая Международная научно-техническая конференция «Технологии микро- и наноэлектроники в микро- и наносистемной технике». Труды конференции. (13-15 апреля 2016 г.) Москва, Россия, 2016, с. 125.
Уваров И.В., Наумов В.В., Королева О.М., Ваганова Е.И., Амиров И.И. Бистабильный МЭМС-переключатель с механизмом активного размыкания электродов. // 5-ая Международная научно-техническая конференция «Технологии микро- и наноэлектроники в микро- и наносистемной технике». Труды конференции. (13-15 апреля 2016 г.) Москва, Россия, 2016, с. 139.
Уваров И.В., Морозов О.В., Изюмов М.О., Лемехов С.С., Козлов А.Н., Амиров И.И. Анализ изготовления чувствительного элемента микроакселерометра. // 5-ая Международная научно-техническая конференция «Технологии микро- и наноэлектроники в микро- и наносистемной технике». Труды конференции. (13-15 апреля 2016 г.) Москва, Россия, 2016, с. 217.
Маковийчук М.И. Методические и технологические особенности изготовления фликкер-шумовых биохимических МЭМС сенсоров. // Материалы 46-ого Международного научно-методического семинара "Флуктуационные и деградационные процессы в полупроводниковых приборах". М.: МНТОРЭС им. А.С. Попова, НИУ «МЭИ»,2016. - С. 66 - 71.
S. P. Zimin, E. S. Gorlachev, V. F. Gremenok, K. Bente, D. A. Mokrov, I. Amirov and V. V. Naumov. Plasma-assisted self-formation of nanotip arrays on the surface of Cu(In,Ga)Se2 thin films. Abstracts of the 20th International Conference on Ternary and Multinary Compounds (ICTMC), 5-9 September, 2016, Halle (Germany).- P. REF108.
Маковийчук М.И. Фликкер-шумовые биохимические мультисенсорные системы. // Тезисы докладов XXVIII Симпозиума «Современная химическая физика» (19 -30 сентября 2016г., г. Туапсе). - М.: «Парк - медиа», 2016. - С.89.
S. Krivelevich. Simple models of Tristate transistors. // Proceedings of International conference “Micro- and Nanoelectronics – 2016”. (ICMNE-2016) October 3-7, 2016, Moscow–Zvenigorod, Russia. – O1-07.
I. Amirov, A. Shumilov, A. Kupriyanov, V. Naumov. Nanoscale patterning using redeposition on sidewall microstructure. // Proceedings of International conference “Micro- and Nanoelectronics – 2016”. (ICMNE-2016) October 3-7, 2016, Moscow–Zvenigorod, Russia. – O3-05.
Yu. Denisenko, V. Rudakov. Formation of nanoporous structure in silicon substrate using two-stage annealing process. // Proceedings of International conference “Micro- and Nanoelectronics – 2016”. (ICMNE-2016) October 3-7, 2016, Moscow–Zvenigorod, Russia. – P1-19.
O.S. Trushin, E. Glazkov, E. Granato, S.-C. Ying. Critical thickness for dislocation nucleation in Ge1-xSix/Si(100) heteroepitaxial system. // Proceedings of International conference “Micro- and Nanoelectronics – 2016”. (ICMNE-2016) October 3-7, 2016, Moscow–Zvenigorod, Russia. – P1-05.
I.S. Zarev, N.Yu. Zvezdin, V.A.Paporkov, A.V. Prokaznikov. Analysis of contribution from various order diffraction maxima to complex magnetooptical Kerr effect from three-dimensional structures like magnetophotonic crystals. // Proceedings of International conference “Micro- and Nanoelectronics – 2016”. (ICMNE-2016) October 3-7, 2016, Moscow–Zvenigorod, Russia. – P1-14.
N. Savinski, U. Logachev. Modelling energy gaps of graphene nanoribbons (GNRs) by DFT. // Proceedings of International conference “Micro- and Nanoelectronics – 2016”. (ICMNE-2016) October 3-7, 2016, Moscow–Zvenigorod, Russia. – P1-43.
N. Savinski, D. Puhov, M. Lebedev, S. Vasilev, O. Trushin, M. Soloviev, A. Surovtsev. Electrochemical exfoliation for the scalable production of high-quality graphene. // Proceedings of International conference “Micro- and Nanoelectronics – 2016”. (ICMNE-2016) October 3-7, 2016, Moscow–Zvenigorod, Russia. – P1-44.
V. Ovcharov, A. Kurenya, V. Rudakov, V. Prigara. Silicon wafer temperature switching waves in a lamp-based chamber. // Proceedings of International conference “Micro- and Nanoelectronics – 2016”. (ICMNE-2016) October 3-7, 2016, Moscow–Zvenigorod, Russia. – P1-46.
V. Prigara, V. Ovcharov, V. Rudakov, A. Kurenya. Critical parameters of lamp-based annealing in high-power flux of incoherent radiation. // Proceedings of International conference “Micro- and Nanoelectronics – 2016”. (ICMNE-2016) October 3-7, 2016, Moscow–Zvenigorod, Russia. – P1-47.
O.V. Morozov, A.V. Postnikov. Influence of reactor wall conditions on the silicon etching rate in SF6 plasma processing. // Proceedings of International conference “Micro- and Nanoelectronics – 2016”. (ICMNE-2016) October 3-7, 2016, Moscow–Zvenigorod, Russia. – P1-48.
I. Amirov, M. Izuymov, L. Mazaletsky. Сleaning of Si sidewall surface of high aspect ratio trenches in oxygen and hydrogen peroxide plasma. // Proceedings of International conference “Micro- and Nanoelectronics – 2016”. (ICMNE-2016) October 3-7, 2016, Moscow–Zvenigorod, Russia. – P1-49.
I. Amirov, R. Selyukov, V. Naumov. Effect of low energy ion-plasma treatment on the internal stresses in three-layer Pt/Ti/SiO2 microcantelevers. // Proceedings of International conference “Micro- and Nanoelectronics – 2016”. (ICMNE-2016) October 3-7, 2016, Moscow–Zvenigorod, Russia. – P1-50.
A.A. Popov, A.E. Berdnikov, A.A. Mironenko, V.N. Gusev. Model of Nanodiode Conductivity as Description of I-V Features of ReRAM in Conductive State. // Proceedings of International conference “Micro- and Nanoelectronics – 2016”. (ICMNE-2016) October 3-7, 2016, Moscow–Zvenigorod, Russia. – P2-13.
O.S. Trushin, N. Barabanova, E. Granato, S.C. Ying. Exploring energy landscape of magnetic nanostructures with Nudged Elastic Band Micromagnetics. // Proceedings of International conference “Micro- and Nanoelectronics – 2016”. (ICMNE-2016) October 3-7, 2016, Moscow–Zvenigorod, Russia. – P2-19.
I.V. Uvarov, V.V. Naumov, O.M. Koroleva, E.I. Vaganova, I.I. Amirov. A low actuation voltage bistable MEMS switch: Design, fabrication and preliminary testing. // Proceedings of International conference “Micro- and Nanoelectronics – 2016”. (ICMNE-2016) October 3-7, 2016, Moscow–Zvenigorod, Russia. – P2-30.
S.P. Zimin, E.S. Gorlachev, D.A. Mokrov, I.I. Amirov, V.V. Naumov, V.F. Gremenok, Y.-D. Chung, W.Y. Kim, S.H. Chai. Formation of Cu(In,Ga)Se2 Nanorods for Solar Cell Applications. Материалы V Междунар. науч. конф., Минск, 2016 г. С. 139.
O. Yu. Zlatoustova, S. V. Vasilev, A. S. Rudy. Properties of calcium-containing microparticles formed in the process of biomineralization of the human aortic wall // Book of abstracts of the 3nd International School and Conference on Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures “Saint-Petersburg OPEN 2016” . Saint-Petersburg : - 2016 - c. 186-187
O. Yu. Zlatoustova, S. V. Vasilev, A. S. Rudy. Properties of calcium-containing microparticles formed in the process of biomineralization of the human aortic wall // Book of abstracts of the 1st International Conference on Helium Ion Microscopy and Emerging Focused Ion Beam Technologies . Luxemburg: - 2016 - c. 83