Публикации сотрудников ОП "Отдел микротехнологий" - Ярославль ОФТИ им. К.А. Валиева Центра перспективной микроэлектроники за 2026 год
- Amirov I.I., Izyumov M.O., Naumov V.V., Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Kropotkin A.N., Voloshin D.G., Palov A.P., Voronina E.N. Etching of ruthenium in Ar/O2/Cl2 mixture: Experiment and numerical models // Physics of Plasmas, Volume 33, Issue 9, 093509 (2026). DOI: 10.1063/5.0346485 Белый список
Experimental studies of ruthenium etching were carried out under the state assignment of National Research Center "Kurchatov Institute". Diagnostics and modeling of the plasma and surface processes were carried out under the state assignment of Lomonosov Moscow State University. The DFT calculations were carried out using the equipment of the shared research facilities of High Performance Computing resources at Lomonosov Moscow State University.
- Уваров И.В., Белозеров И.А., Морозов М.О. Микромеханический СВЧ-переключатель с контактом металл-металл // Наноиндустрия. – 2026. – Том 19. – № S13. – C. 285-289. DOI: 10.22184/1993-8578.2026.19.13s.285.289 Белый список
Проектирование МЭМС-переключателя выполнено при финансовой поддержке РНФ, проект № 25-19-20107. Работы по изготовлению МЭМС-переключателя выполнены в рамках государственного задания НИЦ «Курчатовский институт».
- Шлепаков П.С., Световой В.Б., Уваров И.В. Микронасос на основе электрохимического мембранного актюатора // Наноиндустрия. – 2026. – Том 19. – № S13. – C. 296-299. DOI: 10.22184/1993-8578.2026.19.13s.296.299 Белый список
Изготовление чипов микронасоса и актюатора выполнено в рамках государственного задания НИЦ «Курчатовский институт». Исследование работы актюатора и повышение его производительности во взрывном режиме выполнено при финансовой поддержке Российского научного фонда, грант № 25-29-00292.
- Shlepakov P.S., Uvarov I.V., Svetovoy V.B. Operation frequency of an exploding gas microactuator // Actuators. – 2026. – Vol. 15. – 241. DOI: 10.3390/act15050241 Белый список
This research was funded by the Russian Science Foundation grant number 25-29-00292.
- Проказников А.В., Папорков В.А., Лях М.А., Селюков Р.В., Наумов В.В. Метод исследования магнитооптических характеристик отдельных магнитных слоев трехслойной системы // Письма в журнал технической физики, 2026, том 52, выпуск 8, с. 48-51. DOI: 10.61011/PJTF.2026.08.62684.20549 Белый список
Работа выполнена в рамках государственного задания НИЦ «Курчатовский институт» на оборудовании Центра коллективного пользования научным оборудованием «Диагностика микро- и наноструктур» Ярославского государственного университета им. П.Г. Демидова.
- Данилов Ю.А., Антонов И.Н., Бачурин В.И., Ведь М.В., Вихрова О.В., Дудин Ю.А., Калентьева И.Л., Крюков Р.Н., Нежданов А.В., Парафин А.Е., Симакин С.Г., Юнин П.А. Формирование ферромагнитных слоев GaMnAs имплантацией ионов Mn в ускорителе с вакуумно-дуговым источником // Журнал технической физики, – 2026, – том 96, – вып. 4, с. 770-780. DOI: 10.61011/JTF.2026.04.62664.77-25
Белый список
Работа выполнена при поддержке Российского научного фонда (грант № 24-72-00047).
- Uvarov I.V., Naumov V.V., Muravyeva T.I., Shcherbakova O.O., Svetovoy V.B. Investigation of contact area in a MEMS switch performed with AFM // Sensors and Actuators A: Physical. – 2026. – Vol. 397. – 117295. DOI: 10.1016/j.sna.2025.117295, Белый список
This work was supported by the Russian Science Foundation. Fabrication process and testing of the switch were supported by Grant No. 25-19-20107 and AFM inspection and theoretical analysis were supported by Grant No. 24-29-00106.
- Чебохин М.М. «GLAD». Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ № 2026663485, 07.05.2026, Официальный бюллетень «Программы для ЭВМ. Базы данных. Топологии интегральных микросхем», 2026 г., № 5
- Чебохин М.М. «view GLAD». Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ № 2026663591, 07.05.2026, Официальный бюллетень «Программы для ЭВМ. Базы данных. Топологии интегральных микросхем», 2026 г., № 5
- Куприянов А.Н., Морозов О.В. Программа для расчета многослойных оптических систем FilmCalc. Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ № 2026666463, 01.06.2026, Официальный бюллетень «Программы для ЭВМ. Базы данных. Топологии интегральных микросхем», 2026 г., № 6
Тезисы и доклады конференций сотрудников ОП "Отдел микротехнологий" - Ярославль ОФТИ им. К.А. Валиева Центра перспективной микроэлектроники за 2026 год
