Публикации сотрудников ОП "Отдел микротехнологий" - Ярославль ОФТИ им. К.А. Валиева Центра перспективной микроэлектроники за 2026 год
- Данилов Ю.А., Антонов И.Н., Бачурин В.И., Ведь М.В., Вихрова О.В., Дудин Ю.А., Калентьева И.Л., Крюков Р.Н., Нежданов А.В., Парафин А.Е., Симакин С.Г., Юнин П.А. Формирование ферромагнитных слоев GaMnAs имплантацией ионов Mn в ускорителе с вакуумно-дуговым источником // Журнал технической физики, – 2026, – том 96, – вып. 4, с. 770-780. DOI: 10.61011/JTF.2026.04.62664.77-25
Белый список
Работа выполнена при поддержке Российского научного фонда (грант № 24-72-00047).
- Uvarov I.V., Naumov V.V., Muravyeva T.I., Shcherbakova O.O., Svetovoy V.B. Investigation of contact area in a MEMS switch performed with AFM // Sensors and Actuators A: Physical. – 2026. – Vol. 397. – 117295. DOI: 10.1016/j.sna.2025.117295, Белый список
This work was supported by the Russian Science Foundation. Fabrication process and testing of the switch were supported by Grant No. 25-19-20107 and AFM inspection and theoretical analysis were supported by Grant No. 24-29-00106.