Лаборатории
- Лаборатория диагностики микро– и наноструктур
- (возглавляет ведущий научный сотрудник Чурилов Анатолий Борисович)
- Лаборатория тонкопленочных источников тока
- (возглавляет заместитель начальника отдела Рудый Александр Степанович)
- Лаборатория технологии микронаносистемной техники
- (вакансия заведующего лабораторией открыта)
- Лаборатория наноэлектроники и спинтроники
- (возглавляет начальник отдела Трушин Олег Станиславович)
- Лаборатория физики и технологии наноструктур
- (возглавляет ведущий научный сотрудник Мордвинцев Виктор Матвеевич)