Обособленное подразделение "Отдел микротехнологий" - Ярославль

Семинар 14 мая 2026 года

В четверг, 14 мая 2026 года в 15.00 в 338 кабинете состоится очно-заочный семинар «Физика и технология микро- и наноэлектроники» (руководитель семинара д.ф.-м.н. О.С. Трушин)

Порядок подачи статей и тезисов для получения экспертного заключения

Программа семинара

1. Тезисы доклада «Влияние морфологии поверхности кремниевых тонкопленочных электродов на их структурную деградацию в процессе литирования/делитирования» О.С. Трушин, И.С. Фаттахов, Л.А. Мазалецкий для опубликования в виде тезисов в трудах XIX Международной конференции «Актуальные проблемы преобразования энергиив литиевых электрохимических системах" и сателлитной конференции XIV Международной конференции для молодых ученых «Менделеев 2026» по электрохимии и смежным дисциплинам, Санкт-Петербург, СПбГУ, 14 – 19 сентября 2026 тема 3Ф-ФТИАН.3. Докладчик Фаттахов Илья Сергеевич, ОФТИ, Ярославль.
2. Статья «In-situ контроль Bosch-процесса травления высокоаспектных канавок в кремнии лазерным интерферометром» О. В. Морозов, для опубликования в открытой печати в виде статьи на русском языке в журнал «Микроэлектроника», издательство «Наука», тема 3Ф-ФТИАН.4. Докладчик Морозов Олег Валентинович, ОФТИ, Ярославль.
3. Статья «Роль магнито-упругих взаимодействий в формировании магнитной анизотропии многослойных систем» А.В. Проказников, В.А. Папорков, М.А. Лях, Р.В. Селюков, В.В. Наумов, для опубликования в открытой печати в виде статьи на русском языке в журнале Микроэлектроника", издательство "Наука", тема 3Ф-ФТИАН.4. Докладчик Проказников Александр Владимирович, ОФТИ, Ярославль.
4. Тезисы доклада «Калориметрический МЭМС-датчик скорости потока газов на основе высокоаспектных платиновых проводников» Е.В. Стекольщиков, М.А. Лях, И.В. Уваров, для опубликования в виде тезисов в трудах Всероссийская с международным участием молодежная научно-практическая конференция «Физика, техника и технология сложных систем», ЯрГУ им. П.Г. Демидова, г. Ярославль, Россия, 23 апреля – 7 мая 2026 года, тема 3Ф-ФТИАН.4. Докладчик Стекольщиков Егор Владимирович, ОФТИ, Ярославль.
5. Статья «Последовательно-шунтирующий МЭМС-переключатель для перспективной радиоэлектроники в диапазоне частот 1-20 ГГц» для опубликования в открытой печати в виде статьи в журнал “Ученые записки Физического факультета Московского университета” издательства “Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова” 3Ф-ФТИАН.4. Докладчик Морозов Матвей Олегович, ОФТИ, Ярославль.